그린리소스 기업분석: 2나노 GAA 반도체 식각 코팅 전망과 리스크

그린리소스 기업분석: 1나노 팹의 가혹한 플라즈마를 견디는 초고밀도 코팅 팩트 체크 “산업통상자원부는 첨단 반도체 국가전략기술 육성 방안을 통해 2나노미터 이하 초미세 파운드리 및 300단 이상 3D 낸드 양산을 위한 핵심 소재·부품·장비의 자립화 정책을 강력하게 추진하고 있습니다. 칩의 회로 선폭이 나노 단위로 좁혀질수록 식각 공정에서 가해지는 플라즈마 에너지는 극도로 강력해지며, 장비 부품의 마모와 미세 파티클 발생을 … 더 읽기