티로보틱스 실적 분석: 반도체 진공 로봇 전망과 야스카와 리스크
티로보틱스 실적 분석: 1나노 웨이퍼를 나르는 진공 속의 기계 팔 팩트 체크 “첨단 반도체 팹(Fab)의 심장부인 노광, 증착, 식각 챔버 내부는 공기가 전혀 존재하지 않는 완벽한 ‘진공(Vacuum)’ 상태입니다. 이 가혹한 무중력 유사 환경에서 수백억 원짜리 웨이퍼를 단 1나노미터의 오차도, 단 한 톨의 먼지(Particle)도 없이 다음 챔버로 옮기는 일은 오직 특수 설계된 ‘진공 로봇’만이 수행할 수 … 더 읽기
