워트 투자 매력도 점검: 반도체 EUV 트랙 장비 온습도 제어(THC) 전망
워트 투자 매력도 점검: 1나노 팹의 0.1도와 1% 습도를 지배하는 나노 에어컨 팩트 체크 “네덜란드 ASML의 3,000억 원짜리 EUV(극자외선) 장비가 아무리 정밀하게 빛을 쏘더라도, 웨이퍼 위에 발려 있는 인화 물질(포토레지스트, PR)의 두께가 불균일하면 회로는 뭉개집니다. 이 끈적한 화학 물질을 웨이퍼에 얇게 펴 바르는 ‘트랙(Track)’ 공정 챔버 내부의 온도가 단 0.1도 틀어지거나 습도가 1%만 빗나가도, 코팅막은 … 더 읽기