지오엘리먼트 기업분석: 반도체 ALD 전구체 캐니스터 전망과 리스크
지오엘리먼트 기업분석: 1나노 팹의 가장 비싼 연료통을 지배하는 초음파 센서 팩트 체크 “우주발사체가 궤도에 진입하려면 엔진의 성능만큼이나 ‘연료통 내부의 미세한 잔량과 기화 상태’를 통제하는 것이 중요합니다. 1나노미터 반도체 팹(Fab)에서도 마찬가지입니다. 수백억 원짜리 ALD(원자층증착) 장비가 웨이퍼에 원자 한 겹을 바르기 위해서는, 1kg에 수천만 원을 호가하는 고체/액체 상태의 ‘프리커서(전구체)’를 가스 상태로 완벽히 기화시켜 챔버에 불어넣어야 합니다. 이때 … 더 읽기