뉴파워프라즈마 기업분석: 반도체 RPG 장비 및 RF 제너레이터 리스크
뉴파워프라즈마 기업분석: 맹독성 챔버를 녹여버리는 플라즈마 화염방사기 팩트 체크 “반도체 장비사들이 ALD(원자층증착) 장비로 웨이퍼 위에 화려하게 원자 벽돌을 쌓아 올릴 때, 챔버(Chamber) 내부 벽면에는 필연적으로 끈적하고 유독한 화학 찌꺼기들이 잔뜩 들러붙습니다. 이 찌꺼기들이 떨어져 웨이퍼에 닿는 순간 칩은 사망합니다. 그렇다고 1분 1초가 돈인 진공 챔버의 문을 열어 사람이 직접 걸레로 닦아낼 수는 없습니다. 이 가혹한 … 더 읽기